所有條件下的壓力控制

61.3控制蝶閥具有的壓力控制性能。憑借其快速精確的動作控制器（0.1?s） 它是CVD和ALD工藝中精細控制的解決方案。該板起到節(jié)流元件的作用，并改變閥門開口的傳導率。61.3的集成壓力控制器計算所需的板位置，以盡可能快地達到設定壓力。

它特別適用于氣流中有顆粒的苛刻下游工藝。61.3保持運行，盡管按照設計顆粒載荷和碎片堆積很高。

61.3系列已經在各種工藝條件下安裝在數千個苛刻的應用中，證明了其的可靠性。61.3系列具有堅固的設計和直接安裝選項，以及減少和易于維護，在各個方面都令人信服。

車身材料、表面等多種設計選項

61.3控制蝶閥有鋁或不銹鋼兩種材質，帶ISO-KF和ISO-F標準法蘭連接器?？杉煽蛻魧Ｓ梅ㄌm以及帶絕緣的集成加熱器等特殊功能。可根據要求提供各種FFKM/FKM彈性體（FKM為標準）。

61.3控制蝶閥的主要特點

特征：

出色的壓力控制

操作非常快

用于本地操作的車載軟件

在苛刻的工藝條件下可靠運行

優(yōu)點：

更好的過程可控性

高正常運行時間/不受限制的性能

運營成本低

高溫高壓過程中可靠的壓力控制和隔離

62.0角度控制閥系列是具有高壓和/或高溫環(huán)境（如ALD或CVD）的真空工藝的理想選擇。最高工作溫度為200?°C的62.0提供了異常精確的壓力控制性能。由于其電動線性驅動執(zhí)行器，打開和關閉循環(huán)可以以非常平穩(wěn)和精細的控制以低的最小電導進行操作。集成的軟泵控制功能通過避免與大多數傳統氣動驅動致動器相關的壓力峰值來增加這一點。